Юрасов Д.В. Дроздов М.Н. Шалеев М.В. Юнин П.А.
Формирование SiGe гетероструктур с высокой долей Ge и их селективное легирование сегрегирующими примесями
Докладчик: Юрасов Д.В.
Файл тезисов: | Тезис Si-2014_Юрасов_ИТОГ.doc |
К списку докладов
Файл тезисов: | Тезис Si-2014_Юрасов_ИТОГ.doc |