Козельская, Анна Ивановна
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН
http://www.ispms.ru
Россия, 634021, Томск, пр. Академический, 2/1
Телефон: +7(382-2) 49-18-81, Факс: +7(382-2) 49-25-76
Доклад
- Семенова О.И.*, Козельская А.И.**, Спесивцев Е.В.***
Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Россия
***Объединенный институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск), Россия