Чаплыгин, Юрий Александрович
МИЭТ
Россия, Москва
Доклад
- Демидов Ю.А.*, Чаплыгин Ю.А.*, Шевяков В.И.**, Белов А.Н.**, Голишников А.А.***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*МИЭТ (Москва), Россия
**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Москва), Россия
***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия