Путря, Михаил Георгиевич
Национальный исследовательский университет МИЭТ
Россия, Москва
Доклад
- Путря М.Г.*, Панкратов О.В.*, Голишников А.А.**, Рыбачек Е.Н.**
Метод формирования кремниевых нанопроволочных ионно-чувствительных транзисторных структур
*Национальный исследовательский университет МИЭТ (Москва), Россия
**Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия