Сарычев, Михаил Евгеньевич
Главный научный сотрудник, Доктор физико-математических наукФизико-технологический институт РАН
Россия, Москва
Список докладов
- Махвиладзе Т.М.*, Сарычев М.Е.**
Влияние точечных дефектов на скорость коалесценции кислородсодержащих преципитатов в кремнии
*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия - Махвиладзе Т.М.*, Сарычев М.Е.**
Деформационно-кинетическая модель процесса коалесценции кислородных преципитатов в кремнии
*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия - Махвиладзе Т.М.*, Минушев А.*, Сарычев М.Е.**
СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия