Коробов, Сергей Владимирович

Доклад

• Матюшкин И.В.^*, Коробов С.В.^*, Михайлов А.Н.^**, Тетельбаум Д.И.^**
  Клеточно-автоматное моделирование процессов вторичного дефектообразования при ионной имплантации
  ^*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Москва), Россия
  ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия