Шевяков, Василий Иванович

Доклад

• Демидов Ю.А.^*, Чаплыгин Ю.А.^*, Шевяков В.И.^**, Белов А.Н.^**, Голишников А.А.^***
  Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
  ^*МИЭТ (Москва), Россия
  ^**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Москва), Россия
  ^***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия