Феклисова, Ольга Владимировна
Старший научный сотрудник, Кандидат физико-математических наук
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Россия, Черноголовка
Список докладов
- Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Влияние меди на рекомбинационную активность протяжённых дефектов в кремнии
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
- Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном крем-нии методами EBIC и LBIC
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
К списку участников