Гусев, Анатолий Владимирович

Список докладов

1. Котерева Т.В.^*, Гавва В.А.^*, Гусев А.В.^*
   Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
   ^*Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия
   
2. Денисов С.А.^*, Гавва В.А.^**, Гусев А.В.^**, Дроздов М.Н.^***, Ежевский А.А.^*, Деточенко А.П.^*, Шенгуров В.Г.^*
   Рост эпитаксиальных слоев моноизотопного кремния методом сублимационной моле-кулярно-лучевой эпитаксии
   ^*Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
   ^**Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^***Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия