Назад
Минушев, Айрат
Физико-технологический институт РАН
Россия, Москва
Доклад
Махвиладзе Т.М.
*
,
Минушев А.
*
,
Сарычев М.Е.
**
СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
*
Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
**
Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
К списку участников