Назад
Шевяков, Василий Иванович
Профессор, Доктор технических наук
Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Россия, Москва
Доклад
Демидов Ю.А.
*
,
Чаплыгин Ю.А.
*
,
Шевяков В.И.
**
,
Белов А.Н.
**
,
Голишников А.А.
***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*
МИЭТ (Москва), Россия
**
Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Москва), Россия
***
Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия
К списку участников