Михайлов, Алексей Николаевич

Список докладов

1. Матюшкин И.В.^*, Коробов С.В.^*, Михайлов А.Н.^**, Тетельбаум Д.И.^**
   Клеточно-автоматное моделирование процессов вторичного дефектообразования при ионной имплантации
   ^*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Москва), Россия
   ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
   
2. Нагорных С.Н.^*, Павленков В.И.^**, Михайлов А.Н.^**, Белов А.И.^**, Королев Д.С.^**, Бобров А.И.^**, Павлов Д.А.^**, Тетельбаум Д.И.^**, Шек Е.И.^***
   Распределение структурных нарушений и центров дислокационной фотолюминесценции в кремнии, подвергнутом имплантации ионов Si+
   ^*Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева (Нижний Новгород), Россия
   ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
   ^***Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (Санкт-Петербург), Россия