Назад
Коробов, Сергей Владимирович
ОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Россия, 124460, Москва, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Телефон: +7(495)2297279, Факс: +7(495)2297280
Доклад
Матюшкин И.В.
*
,
Коробов С.В.
*
,
Михайлов А.Н.
**
,
Тетельбаум Д.И.
**
Клеточно-автоматное моделирование процессов вторичного дефектообразования при ионной имплантации
*
ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Москва), Россия
**
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
К списку участников