Орлов, Валерий Иванович
Институт физики твердого тела РАН
http://issp3.issp.ac.ru
Россия, 142432, Черноголовка, Московская область, г. Черноголовка, Институтская ул., д. 2
Телефон: (495) 962-80-54Список докладов
- Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Влияние меди на рекомбинационную активность протяжённых дефектов в кремнии
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
- Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном крем-нии методами EBIC и LBIC
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
К списку участников