Теруков, Евгений Иванович
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
http://www.ioffe.ru/
Russia, 194021, St. Petersburg, Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26
Phone: (812)247-2245, Fax: (812)247-1017
Report
- Терехов В.А.*, Паринова Е.В.**, Ундалов Ю.К.***, Трапезникова И.Н.***, Теруков Е.И.***
Определение степени окисления кремния и содержания кластеров кремния в пленках SiOx методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
*ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Voronezh), Russia
**ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Voronezh), Russia
***Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН (St. Petersburg), Russia