Back
Спесивцев, Евгений Васильевич
United Institute of Semiconductor Physics SB RAS
Russia, 630090, Novosibirsk, pr. ac. Lavrentieva, 13
Phone: +7(383) 333-39-50
Report
Semenova O.I.
*
,
Козельская А.И.
**
,
Спесивцев Е.В.
***
Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
*
A.V. Rzhanov Institute of Semiconductor Physics of SB RAS (Novosibirsk), Russia
**
Institute of Strength Physics and Materials Science SB RAS (Tomsk), Russia
***
United Institute of Semiconductor Physics SB RAS (Novosibirsk), Russia
To participants list