Feklisova, Olga Vladimirovna
Senior Research Scientist, Ph.D. in Physics and Mathematics
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Russia, Chernogolovka
Reports list
- Орлов В.И.*, Feklisova O.V.**, Yakimov E.B.***
Investigations of extended defect properties in plqastically deformed Si by the EBIC and LBIC methods
*Институт физики твердого тела РАН (Chernogolovka), Russia
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Chernogolovka), Russia
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Chernogolovka), Russia
- Орлов В.И.*, Feklisova O.V.**, Yakimov E.B.***
Влияние меди на рекомбинационную активность протяжённых дефектов в кремнии
*Институт физики твердого тела РАН (Chernogolovka), Russia
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Chernogolovka), Russia
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Chernogolovka), Russia
To participants list