Makhviladze, Tariel
Head of Laboratory, D.Sc. in Physics and MathematicsФизико-технологический институт РАН
Russia, Moscow
Reports list
- Makhviladze T.*, Сарычев М.Е.**
A strain-kinetic model for coalescence of oxygen precipitates in silicon
*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia - Makhviladze T.*, Minushev A.*, Сарычев М.Е.**
Advanced model of the copper CMP process for silicon nanotransistor technology
*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia - Makhviladze T.*, Сарычев М.Е.**
Influence of point defects on the coalescence rate of oxygen-containing precipitates in silicon
*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia