Demidov Y.A. Чаплыгин Ю.А. Shevyakov V.I. Belov A.N. Golishnikov A.A.
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
Reporter: Shevyakov V.I.
Abstracts file: | Тезисы_Шевяков.doc |
To reports list