Рысбаев А.С. Хужаниёзов Ж.Б. Рахимов А.М. Файзуллаев Р.Ф. Бекпулатов И.Р.
Особенности спектров характеристических потерь энергии электронов в ионно имплантированных слоях кремния
Докладчик: Рысбаев А.С.
Файл тезисов: | особенности.doc |
Файл презентации: | КРЕМНИЙ_(Si_2014(1)).ppt |
К списку докладов