Панкратов, Олег Вячеславович
Национальный исследовательский университет МИЭТ
Russia, Moscow
Report
- Путря М.Г.*, Панкратов О.В.*, Голишников А.А.**, Рыбачек Е.Н.**
Метод формирования кремниевых нанопроволочных ионно-чувствительных транзисторных структур
*Национальный исследовательский университет МИЭТ (Moscow), Russia
**Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia