Гусев, Анатолий Владимирович
Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН
Russia, Nizhniy Novgorod
Reports list
- Котерева Т.В.*, Гавва В.А.*, Гусев А.В.*
Diagnostics of impurity composition of high-pure monosilane by analysis results of the control silicon monocrystal.
*Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Nizhniy Novgorod), Russia - Denisov S.A.*, Гавва В.А.**, Гусев А.В.**, Drozdov M.N.***, Ezhevskii A.*, Деточенко А.П.*, Шенгуров В.Г.*
Рост эпитаксиальных слоев моноизотопного кремния методом сублимационной моле-кулярно-лучевой эпитаксии
*Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Nizhniy Novgorod), Russia
**Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Nizhniy Novgorod), Russia
***Институт физики микроструктур РАН (Nizhniy Novgorod), Russia