Naida, Galina Akimovna
Leading research officer, Ph.D. in Technical ScienceНациональгный исследовательский университет"МИЭТ"
Russia, Moscow
Report
- Naida G.A.*, Prokofieva V.K.*
The influence of defects of the silicon substrate to form AlN layers
*Национальгный исследовательский университет"МИЭТ" (Moscow), Russia