Golishnikov, Alexander Anatolievich
Head of Laboratory, Ph.D. in Technical ScienceНаучно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ
Russia, 124498 , Moscow, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5, к. 7237
Phone: + 7 499 734-4521 , Fax: + 7 495 913-2192
Report
- Demidov Y.A.*, Чаплыгин Ю.А.*, Shevyakov V.I.**, Belov A.N.**, Golishnikov A.A.***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*МИЭТ (Moscow), Russia
**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Moscow), Russia
***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia