Гикавый, Андрей Яковлевич
Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC)
Бельгия, Лёвен
Доклад
- Зюльков И.Ю.*, Гикавый А.Я.**
Эпитаксиальный рост напряженного SiGe в атмосфере дисилана и дигермана
*ОАО "Научно исследовательский институт молекулярной электроники" (Москва), Россия
**Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) (Лёвен), Бельгия