Чаплыгин, Юрий Александрович

Report

• Demidov Y.A.^*, Чаплыгин Ю.А.^*, Shevyakov V.I.^**, Belov A.N.^**, Golishnikov A.A.^***
  Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
  ^*МИЭТ (Moscow), Russia
  ^**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Moscow), Russia
  ^***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia