Международная конференция
«Современные проблемы прикладной математики и механики: теория, эксперимент и практика», посвященная 90-летию со дня рождения академика Н.Н. Яненко
№ гос. регистрации 0321101160, ISBN 978-5-905569-01-2

Григорьев Ю.Н.   Горобчук А.Г.  

Массоперенос активных частиц в плазмохимическом реакторе травления

Докладчик: Горобчук А.Г.

В рамках гидродинамического приближения исследуется влияние двумерной структуры ВЧ-разряда на производство и массообмен активных частиц в плазмохимическом реакторе травления. Расчеты выполнены с использованием двумерной математической модели неизотермического реактора, в которой движение газовой смеси описывалось уравнениями многокомпонентной гидродинамики с учетом конвективно-диффузионного переноса отдельных компонент смеси. Для определения внутренних характеристик низкотемпературной плазмы в диапазоне рабочих давлений 0.1-1.0 торр использовалась гидродинамическая модель аксиально-симметричного ВЧ-разряда в трехмоментном приближении. Модель включала уравнения непрерывности для электронов и положительных ионов, уравнение баланса энергии электронов и уравнение Пуассона для электрического потенциала. Для численного решения уравнений непрерывности электронов и положительных ионов, а также уравнения баланса электронной энергии использовалась неявная экспоненциальная разностная схема Шарфеттера-Гуммеля, обеспечивающая сохранение положительных значений средних концентраций плазменных компонент и электронной энергии. Выполнено численное моделирование радиального плазмохимического реактора с неоднородным ВЧ-разрядом и многокомпонентной плазменной кинетикой. Показано влияние структуры ВЧ-разряда на скорость и однородность травления кремниевых образцов.