Шанин, Сергей Александрович
Доцент, Кандидат физико-математических наукНациональный исследовательский Томский политехнический университет
http://www.tpu.ru/
Россия, 634050, Томск, пр. Ленина, 30
Телефон: 8(3822)563443, Факс: 8(3822)563443
Доклад
- Шанин С.А.*
Математическое моделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Россия